VIGOR Product Express|Pretočno stikalo serije VEFS2

Industrija polprevodnikov, ki jo poganjajo umetna inteligenca, visoko{0}}zmogljivo računalništvo (HPC), avtomobilska elektronika in aplikacije interneta stvari, se hitro spreminja. Ta izjemna rast pa je prinesla tudi nove operativne izzive. Ker se obseg proizvodnje širi s hitrostjo brez primere, se v tovarnah polprevodnikov pogosto uporabljajo posebni plini z visokim tveganjem, kot sta silan in fosfin. Vsako nenadzorovano uhajanje plina, ki ga povzroči pretrganje cevovoda, ohlapni priključki, okvara tesnila ali nepravilna namestitev, lahko hitro preraste v resen varnostni incident, ki ogroža varnost osebja, poškoduje kritično proizvodno opremo in povzroči drage nenačrtovane izpade. V tem ozadju je VIGOUR-jevo stikalo za presežni pretok (EFS) s svojo izključno mehansko zasnovo proženja in izjemno združljivostjo z ultra-high-purity (UHP) postalo nepogrešljivo varnostno varovalo za posebne sisteme za oskrbo s plinom, vključno s plinskimi omaricami in VMB, v proizvodnih linijah polprevodnikov po vsem svetu.

Osnovno načelo zasnove VIGOR EFS je zaznati nenormalne pogoje pretoka in se zanesljivo odzvati. Ko okvara spodnjega cevovoda povzroči nenadno in čezmerno povečanje pretoka, ki preseže vnaprej-nastavljeno kritično točko izklopa, naprava takoj sproži odzivni signal. Ta signal se prenaša prek odpiranja ali zapiranja električnih kontaktov v vgrajenem-reed stikalu, ki se nato sinhronizira in pošlje v sistem SCADA ali sistem za spremljanje plina (GMS). Z zagotavljanjem opozoril-v realnem času in omogočanjem hitrih samodejnih odzivov podpira proaktivno upravljanje varnosti, učinkovito blaži potencialne nevarnosti in krepi splošno zanesljivost omrežja za dostavo plina.

V postopkih izdelave polprevodnikov lahko vsaka komponenta v plinskem sistemu postane potencialni vir kontaminacije. Celo drobni delci, kovinske nečistoče ali površinska adsorpcija lahko ogrozijo kakovost rezin in zmanjšajo izkoristek proizvodnje. Zato se VIGOR strogo drži strogih standardov polprevodniške industrije, da zagotovi čistost materiala, čistočo površine in stabilnost delovanja.

Kar zadeva standarde materialov, VIGOR uporablja izključno nerjaveče jeklo 316L, proizvedeno s tehnologijo dvojnega-taljenja VIM/VAR. Ta napreden metalurški postopek bistveno zmanjša kovinske vključke in ostanke nečistoč, kar zagotavlja odlično odpornost proti koroziji in zmanjšuje tveganje kontaminacije s plinom. Za površinsko obdelavo so vsi izdelki podvrženi naprednemu elektropoliranju (EP), ki ohranja hrapavost notranje površine 5–10 μin. Tako gladka, čista notranjost preprečuje, da bi se molekule plina adsorbirale na notranje stene, in odpravlja obarjanje delcev, kar podpira stabilno dovajanje plina-brez kontaminacije.

Poleg tega VIGOR EFS ponuja širok izbor kritičnih točk izklopa in prilagodljive konfiguracijske možnosti, ki ustrezajo različnim scenarijem uporabe. S preprostim ujemanjem parametrov lahko uporabniki enostavno določijo natančen model na podlagi določenih vrst plina, pogojev delovnega tlaka in največjih dovoljenih pretokov. Ta visoka stopnja prilagajanja zagotavlja natančno in zanesljivo zaščito pred pre-pretokom za različne aplikacije plina ultra{3}}visoke-čistosti v sodobni proizvodnji polprevodnikov.

  Pretočno stikalo za aplikacije z visokim pretokom

 Na voljo z vodoravno ali navpično glavno črto

 Minimalni padec tlaka skozi napravo

 Nerjaveče jeklo SS 316L