INTEGRATED GAS SYSTEM>>Skupna raba serije izdelkov IGS
VIGOR zagotavlja napredne integrirane plinske sisteme (IGS), zasnovane posebej za-kontrolo plinov visoke čistosti v industriji proizvodnje polprevodnikov. Naše rešitve združujejo inovativen inženiring s strogimi proizvodnimi standardi, da zagotovijo zanesljivost, kompaktnost in vrhunsko zmogljivost v kritičnih aplikacijah.
Značilnosti izdelka
- Uporablja se za nadzor plina v industriji polprevodnikov
- Modularna zasnova
- Vse komponente so površinsko nameščene v skladu s standardom SEMl
- Velikost je približno 1/3 tradicionalne plošče
- Standardni material SEMl, postopek elektropoliranja in orbitalno varjenje
- Wseal in C-seal izbirno
- Dvojno pakirano v čistem prostoru
- Vsi izdelki, razen "nosilcev", so proizvedeni v skladu s specifikacijo procesa VS001A
IGS regulatorji tlaka serije VIR
1. Maks. Delovni tlak: 150 psig
2. Maks. Delovna temperatura: -40 stopinj F~140 stopinj F (-40 stopinj ~60 stopinj)
3. Izhodni tlak: 0~100 psig
4. Površinska obdelava: Max. 5uin. Ra
5. Material: 316L VIM-VAR
6. Sedež ventila: PCTFE (PFA/Vespel neobvezno)
7. Zmogljivost pretoka: Cv=0.08
Membranski ventili IGS serije VID
1. Maks. Delovni tlak: 150 psig
2. Maks. Delovna temperatura: PCTFE 14 stopinj F~176 stopinj F (-10 stopinj ~80 stopinj); PFA 14 stopinj F~302 stopinj F (-10 stopinj ~150 stopinj)
3. Brez zasnove slepe ulice
4. Mokro površino obdelamo z EP, Max. 5uin. Ra.
5. Material: 316L VIM-VAR
6. 100% Helij-preizkušeno-tesnost
7. Zmogljivost pretoka: Cv=0.1
Ventili za regulacijo pretoka IGS serije VIM
1. Maks. Delovni tlak: 150 psig
2. Maks. Delovna temperatura: 14 stopinj F~302 stopinj F (-10 stopinj ~150 stopinj)
3. Tesnjenje: FKM
4. Mokro površino obdelamo z EP, Max. 5uin. Ra
5. Zmogljivost pretoka: Cv=0.03
IGS povratni ventili serije VICV
1. Maks. Delovni tlak: 150 psig
2. Maks. Delovna temperatura: 14 stopinj F~176 stopinj F (-10 stopinj ~80 stopinj)
3. Končna obdelava površine: Max. 5uin. Ra
4. Tlak razpok: 0,33 psig
5. Zmogljivost pretoka: Cv=0.2
Substrati serije VlB (C-seal)
1. C-tesnilo
2. Ne-fiksna namestitev za zagotavljanje učinka tesnjenja
3. Mokri del obdelamo z EP
4. Površinska obdelava: Max. 5uin.Ra
5. Material: 316L VIM-VAR
Osnovna serija izdelkov
- Regulatorji tlaka IGS (serija VIR)
- Membranski ventili IGS (serija VID)
- Ventili za regulacijo pretoka IGS (serija VIM)
- Kontrolni ventili IGS (serija VICV)
- Podlage in nosilci IGS (serija VIB)
- Tesnila (serija VIG)
Zakaj izbrati VIGOR IGS?
Naši sistemi predstavljajo sinergijo natančnega inženirstva in praktičnega dizajna, ki zagotavlja:
- Prostorska učinkovitost: dramatično zmanjšana velikost plošče.
- Ultra{0}}visoka čistost: materiali in procesi, prilagojeni za-polprevodniške aplikacije.
- Modularna prilagodljivost: enostavno konfiguriranje, razširitev in vzdrževanje.
- Dokazana zanesljivost: strogi testi in skladnost s SEMI{0}}standardom.
V podjetju VIGOUR ponujamo več kot le komponente-zagotavljamo integrirane rešitve, ki vaše ideje oživijo z zaupanjem in natančnostjo.
